本网讯 28日，苏锡通科技产业园区举行产业项目签约仪式，营口金辰机械股份有限公司（以下简称“金辰股份”）半导体装备研发及制造项目落户。项目总投资约10亿元，将打造半导体高端装备制造基地，为园区新能源与半导体产业集群发展注入新动能。

金辰股份是国内高端智能装备领域上市龙头企业，2017年在上交所主板上市。深耕行业近30年来，企业聚焦高效光伏电池与组件装备、氢能等新能源产业及半导体电子信息产业，主攻真空镀膜、自动化智能装备研发制造，技术涵盖真空系统设计、多种薄膜层沉积工艺开发、机械设计与制造、电气自控、光学检测、AI视觉分析、激光应用、机器人整合及计算机软件开发与扩展集成等。

此次落地的半导体装备研发及制造项目，固定资产投资约6.4亿元，规划用地143亩。项目拟新建现代化厂房和高标准洁净室，配套建设半导体装备应用工程实验室，并引进国内外高端核心工业母机及先进的实验检测仪器。项目核心将搭建以TGV 玻璃基封装为代表的半导体设备生产试验线，旨在加快超快激光诱导改质设备、种子层沉积PVD 磁控溅射设备、ALD、高温退火炉、PVD 镀膜设备以及TGV 通孔工艺流程AOI（自动光学检测与缺陷识别）设备等半导体专用设备的研发突破与制造验证。 （记者吴霄云）