每天清晨八时，中科仪（南通）半导体设备公司研发中心控制工程部部长张军准时到岗，伏案深耕研发、统筹部门事务，常常忙至晚间七八时才下班，这是他多年来雷打不动的作息日常。

4月29日记者见到张军时，他刚参加完省、市劳动模范和先进工作者表彰大会。卸下荣誉光环、收好劳模奖章，他又迅速投身半导体设备研发工作。

半导体干式真空泵是芯片前道制造不可或缺的核心洁净真空源。在晶圆刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键生产工序中，它能提供无油、稳定、耐腐蚀的真空环境，性能优劣直接左右着晶圆良品率与芯片整体性能，堪称半导体产业的“隐形基石”。

曾几何时，国内半导体干式真空泵市场长期被英、德、日等国外企业牢牢垄断。“进口产品不仅在技术上滞后于国际主流水平，售价还居高不下，国内相关企业没有议价主动权，只能被动接受高价采购的局面。”深耕研发一线多年，张军深知核心技术受制于人之痛，更笃定自主研发国产干式真空泵的决心。

作为核心技术骨干，他先后主持、参与多项重大科研专项，牵头完成全系列干式真空泵电控整体架构设计，带队攻克洁净真空获取系统、集成电路制造工艺优化融合等多项“卡脖子”核心技术，研发出比肩国际水平的国产干式真空泵系列产品。“随着产品成功投放市场，长期以来的进口垄断格局被彻底打破，同类进口产品售价被迫下调。”张军介绍。

干泵产品硬性指标实现突破后，如何以数字化“软件服务”护航半导体安全生产，实现设备全生命周期智能化管控——这成为张军和同事们面临的新课题。2017年，张军主动扛起重任，牵头启动中央监控系统研发项目，立志冲破数据壁垒，实现核心软硬件技术全方位自主可控。

然而，科研攻坚之路从无坦途。近年来，半导体产业迎来爆发式迭代，市场客户需求发生颠覆性变化，项目原定研发目标与行业实际发展严重脱节，研发工作一度陷入停滞。一边是紧迫的项目验收时限，一边是激烈的市场竞争压力，多重考验接踵而至。关键时刻，张军以身作则扎根研发一线，白天对接客户精准摸排需求、统筹团队分工协作；夜晚沉下心钻研技术原理，反复打磨优化设计方案。历经数年攻坚克难，终于，国产自主研发的中央监控系统3.0版本在2022年成功推出，并顺利通过项目验收。该系统不仅能够全域采集设备运行数据、实现故障提前智能预判，更为企业人工智能、机器人等新兴业务板块布局，搭建起坚实可靠的数据底座。张军介绍，目前该系统国内市场占有率稳居行业榜首。

产业振兴，贵在传承；科创未来，重在育才。在深耕半导体电控研发主业的同时，张军始终坚守“传帮带”初心，倾力培育青年科研人才，为国产半导体产业积蓄后备力量。

“2022年中科仪南通公司成立之初，控制工程部只有2个人，如今已经壮大到近20人，部门完整的组织架构、成熟的研发体系，是张部长与大家一起携手共建起来的。”与张军共事多年的电控设计工程师缪瑀深有感触地说。在工作中，张军毫无保留、倾囊相授，手把手地向青年员工传授技术经验，精准把控研发方向，耐心解答技术疑问，助力年轻人破解研发瓶颈，一批青年骨干在他的悉心栽培下快速成长，逐渐独当一面，成为企业科创攻坚的新生力量。

初心如磐践使命，砥砺奋进再前行。谈及未来研发规划，张军表示，将带领团队坚持双线布局、持续深耕细作。一方面以精益求精的工匠精神持续夯实核心竞争力，研发生产出国际一流水准的干式真空泵产品；另一方面紧扣国内产业升级浪潮，抢抓人工智能、机器人产业发展新机遇，贴合本土产业发展需求积极参与行业标准制定，力争以中国标准引领行业发展，在半导体科创之路上不懈奋斗，续写新时代劳模的责任与荣光。